扫描镜精密伺服系统的数字控制研究

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针对扫描镜精密伺服系统,采用按照电流环、违反环和位五环等3个回路进行控制系统设计的开闭环复合控制方案。在位置环回路中,实现系统解耦控制,并以四点中心差分法和非线性积分算法改进传统的微分和积分运界人而提出一种新型的数学控制器结构。实验结果表明改进的控制方案与控制算法能明显提高控制系统性能。 Aiming at the precision servo system of scanning mirror, a closed-loop hybrid control scheme based on three loops of current loop, non-loop and bit five loop is designed. In the position loop, the system decoupling control is realized, and a new type of mathematical controller structure is proposed based on four-point center difference method and nonlinear integral algorithm to improve the traditional differential and integral operators. Experimental results show that the improved control scheme and control algorithm can significantly improve the control system performance.
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