气体微流量标准装置的研制

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气体微流量标准是校准同流量的一种装置,可用于传递型和应用型参考漏孔及气体微流旦计的校准。它由恒压式微流量计、流量校准系统、待校流量引入系统和测量与控制系统四部分组成,。恒压式微流量计的变容室采用了活塞液压驱皮纹管结构,活塞的平动由恒力矩测速电机驱动导轨闰支机构完成,活塞的位移用精密光栅尺测量,在流量测量过程中,测量与控制系统将变容室和参考室之间的压力差在工作压力值的0.015%之内,该中采用直接测
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