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本文阐述了气相沉积技术的发展和应用,概括了此技术在我国的现状,分析并展望其未来的发展,还注意到了研究领域中的动向和趋势。
气相沉积技术的现状与发展
【摘 要】
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本文阐述了气相沉积技术的发展和应用,概括了此技术在我国的现状,分析并展望其未来的发展,还注意到了研究领域中的动向和趋势。
【机 构】
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承德信息工程技术学校理工系,北华航天工业学院材料工程系,亚新科美联廊坊制动系统有限公司
【出 处】
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华北航天工业学院学报
【发表日期】
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2006年03期
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