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随着微电子机械系统和集成光学等应用的发展，铁电厚膜及其溶胶一凝胶法的制备越来越受到人们的关注．结合研究组的科研工作，介绍了铁电厚膜溶胶一凝胶法的制备过程以及采取的一些措施，并对铁电厚膜研究中的一些主要相关问题进行了讨论．
铁电厚膜溶胶-凝胶法的制备与探讨
【摘 要】
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随着微电子机械系统和集成光学等应用的发展，铁电厚膜及其溶胶一凝胶法的制备越来越受到人们的关注．结合研究组的科研工作，介绍了铁电厚膜溶胶一凝胶法的制备过程以及采取的一些
【机 构】
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河北大学物理科学与技术学院,华北电力大学数理学院,河北农业大学信息学院
【出 处】
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河北师范大学学报
【发表日期】
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2006年2期
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