光纤制备过程中掺氟对沉积速率及沉积效率的影响

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光纤包层中掺氟能显著降低折射率,这就为制备纯石英芯光纤提供了可能.但氟的加入会导致沉积速率及沉积效率下降,增加了光纤制备的困难.本文研究了不同掺氟量对沉积速率及沉积效率的影响,得出了氟利昂流量与沉积速率及沉积效率之间的变化规律,并试验了沉积温度、热区宽度对掺氟的影响.
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