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研究了射频反应磁控溅射制备ZrO2薄膜中，偏压对薄膜相结构及光学性能的影响。实验发现，随直流偏压的增加，在玻璃和单晶硅基片上淀积的......
采用射频反应溅射工艺分别在含氟气氛中溅射SiC靶和在含碳气氛中溅射SiN靶制备了两种无定形硅碳氮薄膜.通过NanoIndenter XP型显微......
TiO2薄膜由于具有光催化活性高、化学性能稳定、安全无毒以及成本低廉等优点，作为环保型光催化材料在环境工程、生物医学、材料科学......
本研究采用射频反应磁控溅射法,分别在玻璃基片上制备了Tb掺杂Cu3N薄膜和TiN薄膜,采用表面形貌仪、X射线衍射仪、X射线能谱仪、四......
