本文设计并制作了一种用于Ka波段分布式MEMS传输线(DMTL)移相器的MEMS电容式并联开关.通过理论计算和工程经验,大致定义了开关的结......

讨论了一种应用于X波段开关线型移相器中的新型低弹性系数RF-MEMS静电式开关的设计。通过对多臂梁式结构RF—MEMS开关的力学性能和......

提出了一种基于微机械工艺的新型复合微桥膜结构,由低应力SiN/SiO2 (0.5μm/50nm)及Cr/Au(30nm/1μm)构成.相应的工艺流程较为简单......

本文介绍了电容式射频MEMS开关的结构、工作原理和制造工艺流程,分析了开关的开启电压和电容比,最后描述了开关在移相器、可调谐滤......

首先阐述了微电子机械系统 (MEMS)技术的基本概念、特点及概况 ;其次 ,介绍了MEMS技术的分类及在各领域的应用产品 ;最后 ,重点介......

MEMS即Micro electrical mechanics system的缩写,也即为微机电系统。由于在个人通讯和军事通讯领域中系统体积小型化、高可靠性及......

利用静电驱动原理设计了一种新颖的射频硅膜RF MEMS开关,其开关的优点在于：巧妙的运用CPW传输线的地线作为下电极,加大了开关驱动面......