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微光学是光学、微电子学和微机械学相互渗透、相互交叉两形成的一门新型学科。微光学元件是借助于微米和纳米等现代加工技术加工而......
采用微电子工艺技术和衍射光学技术相结合,可以设计加工出新型的微结构光栅,实现以往传统光栅很难实现的新功能.本文报道了我们课......
微结构光栅在材料光谱发射率控制方面具有独特的优势和广阔的应用前景。利用严格耦合波分析（RCWA）,结合铁的电磁参数,考察了铁微结构......
本论文对飞秒激光应用于微纳加工领域进行了部分理论与实验研究工作。论文的主要内容包括:一.使用约化后的双温方程对超短激光脉冲......
根据摩尔定律,芯片上的集成元件数每18个月数目增加一倍。但是随着技术的进步,光刻设备的价格也随之上升。而纳米压印技术作为很有......
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