晶圆传输机器人相关论文
晶圆传输机器人是IC产线的核心智能设备，其生产效率直接影响整个产线的生产产能。合理高效的运动轨迹不仅有利于提高产线效率，也有利......
半导体加工制造业要求加工运输设备需要具有高洁净等级、防静电、高可靠性等特点,所以半导体制造环境下所用的机器人在满足基本搬......
集成电路(IC)是电子信息产业的核心,是推动国民经济和社会信息化发展的高新技术之一。IC制造装备技术是IC产业得以快速发展的重要......
集成电路(IC)制造装备是电子信息产业的核心,是推动国民经济和社会信息化发展的高新技术之一。晶圆传输系统是IC装备中必不可少的......
一。IC制造装备业的快速发展要求晶圆传输机器人高速运动,从而增加了机器人运动过程中对其支撑框架的冲击。另一方面,IC生产线的特......
集成电路（IC）产业是关系到国家经济和国防安全的重要支柱产业，晶圆传输系统作为IC产业中必不可少的IC制造装备，对IC产业的生产效率起着......
集成电路（IC）产业作为电子信息产业的核心，具有极其重要的战略地位，晶圆传输机器人用于快速、精确传输晶圆，是IC生产线中不可或缺的重要......
集成电路(IC)产业是推动经济发展的核心力量，晶圆传输机器人是IC产业的关键制造设备，其快速性与稳定性直接决定了IC产业的生产效率。......
为了实现晶圆片快速稳定传输,通过拓扑优化设计了新的机器人末端执行器结构。首先,利用三维UG软件对晶圆传输机器人末端执行器进行......
为了提高晶圆传输机器人的运行效率和运动平稳性,课题组基于末端执行器的位姿调整对晶圆传输机器人进行了轨迹规划研究。首先,介绍......
在经济全球化、信息化的今天,集成电路(IC)产业已经是影响国家经济、政治和国防安全的战略必争产业。本课题结合国家973项目“超大......
分析了同步带应用于晶圆传输机器人机械手的误差产生原因,针对晶圆传输机器人高速高精度的定位要求,建立了含有同步带环节的误差模......
集成电路(IC)制造装备是电子信息产业的核心,是推动国民经济和社会信息化发展的高新技术之一。晶圆传输系统是IC装备中必不可少的......
在超大规模集成电路(IC)制造过程中,晶圆需要在数百道工艺之间频繁传输,晶圆传输能力对整个IC产业的发展至关重要。晶圆传输机器人......
为了提高高速高精度晶圆传输机器人的定位精度,建立了精度分析和运动学标定为一体的精度保障体系.针对机器人的特点,建立了误差模......
在对预对准机建模仿真的基础上,根据晶圆预对准的误差精度分析结果,利用误差转化的方法将预对准机自身误差转化成预对准机与机械手......
晶圆传输机器人是集成电路(IC)制造领域的核心设备，其稳定性和快速性对IC产业的生产效率具有重要影响。在末端执行器加减速的过程中......
为了实现晶圆片快速稳定传输,课题组设计了3种不同机械结构的末端执行器。首先,利用三维UG软件建立4凸点接触式有结构孔且有过渡结......
集成电路(IC)产业作为信息化的基础，对经济发展，社会进步和国家安全都有着巨大的影响。而IC制造装备是IC产业发展的支柱，在整个IC产业......
