离子注入机相关论文
针对我国用于离子注入机的高压放大器输出峰值电压一般处于±10 kV的现状，研制了一种双极高速高压功率放大器，输出最大峰值电压为±2......
Axcelis技术公司推出可用于大流量注入及亚65nm器件制造的OptimaHD离子注入机。这种新型低能大剂量离子注入系统可提供200eV至80ke......
离子注入机是集成电路制造的核心装备之一,本文重点介绍了当前集成电路领域离子注入机的分类和基本性能参数,描述了其系统组成以及......
离子束表面改性技术是70年代初逐渐发展起来的一种新颖的表面改性技术。该技术是把工件放在离子注入机的真空室中,在几十至几百千......
本文介绍了正研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标.它的最高能量为200 keV,可按一定比例同时用氢氦两种离子进行注......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
针对圆盘式全机械扫描注入机,分析了传统束斑中心算法的缺陷和问题,提出质心的概念来表征束斑的分布,并提出了一种用于注入机剂量......
本文结合作者实践,阐述了EATON公司生产的NV10系列大束流离子注入机的设计缺陷,并介绍了对其进行改造的过程.......
简述了绝缘体上硅(SOI)材料的最新研究动态和国外SOI的最新产业化情况,介绍了国内SOI材料的最新研究进展和应用情况,并对国内SOI材......
采用系统辨识方法获得离子注入机分析器精确模型,然后将系统模型作为分析器控制器的前馈控制,提前预测控制输出,提高控制器的响应......
离子辐照引起的材料微结构变化是一个复杂的过程,用加速器-电镜联机装置可原位观察载能离子束辐照引起的材料微结构演变。武汉大学......
2008年武汉大学加速器联机系统初步建成,200 kV离子注入机至透射电镜束线进行了运行调试,开展了气体离子注入单晶Si、GaAs、Ag纳米......
利用束流传输原理，采用包含空间电荷效应的传输矩阵，讨论了强流离子束在静电加速场中传输包络的计算。并对不同能量、不同束流的强流......
本文介绍了一台低能全元素离子注入机。它的能量范围为5～60keV;离子品种是从~1H到~(209)Bi;最低能量5keV的As~+、Se~+等重离子的靶......
能够精确控制离子注入的能量从而控制掺杂的深度是离子注入机的重要特征。本文讨论了大束流离子注入机能量污染，产生的原因及降低能......
高温高能离子注入机是宽禁带半导体SiC产业的关键设备，离子源直接影响整机的性能指标。为保证离子源的长寿命和大束流，针对SiC高温高......
针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,......
介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘。构建了离子注入时晶圆的热......
本文介绍我国第一台加速器-电镜联机装置,该装置由一台2×1.7MV串列加速器、一台国产200kV离子注入机和一台日立H800型透射电......
本工作在对400keV 离子注入机控制与测量信号传输系统的改造中，解决了在地电位与高电位之间信号的稳定传输问题。主要采用AD650模块......
宽带束离子注入机的均匀性调节系统由线圈磁铁组及可调磁极组组成,通过分析调节原理,结合实际调试中获得的可调磁极组中单个磁极调......
对垂直扫描机构差分式密封进行了设计和计算.差分式密封是非接触动密封,垂直扫描机构中,轴和轴套之间有微小的间隙,轴套上有两级差......
介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统，控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动，解决了晶圆在传送过程中的......
本工作在武汉大学加速器实验室初步建立了我国首套多束离子辐照装置,并设计了一种适用于该装置的样品加热保温装置。另一方面,通过......
本工作在武汉大学建立了我国首台加速器—透射电子显微镜联机装置,并进行了初步应用。(1)联机装置由美国通用离子公司(General Ion......
离子注入机是半导体制造的关键工艺设备,其中的控制系统研究是离子注入机研制的关键内容之一。本项目开展100nm大角度离子注入机的......
<正>集成电路制造技术集成套工艺是当今全球装备制造业中最尖端的技术之一,是信息技术硬件的核心。其国产化正在艰难起步。高端通......
详细介绍了50型强束流、大束斑MEVVA源注入机的结构和各项性能.50型MEVVA源注入机是北京师范大学低能核物理研究所于九五期间承担......
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本文给出了计入空间电荷效应后整机光路的束流包络。分析了改变磁分析器和高梯度加速管的一些参数对束流包络的影响。......
简单介绍了典型离子注入机的组成，分析了离子注入机中扫描技术的重要性。随着集成电路工艺技术的提高，对离子注入提出更高的要求，侍统......
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本文叙述了采用数据汇编进行光纤传输,实现离子注入机高低电位的参数测量和调整的一种方法。具有方便、可靠和花钱少等优点。
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本文介绍了光导纤维在离子注入机中高电压区参数监控的成功应用的经验。
This paper introduces the successful application of ......
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随着器件线宽和层厚的缩小，离子注入计量设备对硅片上杂质分布均匀性进行直接监测的能力已经开始受到限制。同时，特征尺寸的缩小和参......
展示了一种应用于低能大束流离子注入机的消除能量污染的减速偏转模块的设计及仿真计算结果,重点介绍了设计思路和对一些关键因素......
全面介绍了当今集成电路制造工业中四种中束流平行扫描式离子注入机的发展情况，由于平行束扫描方式的实现，使得８英寸硅片的注入均匀性......
垂直扫描机构是单晶片离子注入机靶盘的支撑部件,起着将高速直线运动从靶室外传递到靶盘的作用。文中针对垂直扫描机构进行了差分......
<正>乳酸是目前世界上公认的3大有机酸之一,其广泛应用于食品、医药、化工、制革、纺织、环保和农业等诸多领域。目前随着白色泡沫......
<正> 半导体器件制造过程中有一种叫做扩散的主要工艺。扩散技术是指在高温下通过“扩散”的方法将杂质原子掺入半导体片。近几年......
