皮拉尼计相关论文
很多具有重要应用背景的MEMS器件加工时都需要进行真空封装。但真空封装工艺、真空保持性、内部真空度测试等关键问题一直未得到真......
介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件——微型MEMS皮拉尼计。皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度......
真空传感器是真空科学研究与真空测试技术中的重要器件。本文将传统的皮拉尼计与MEMS技术结合起来,研制了一款与标准CMOS工艺兼容......
微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)是将微机械元件、微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路等集成于一体......
微机电系统(MEMS)皮拉尼(Pirani)真空压力计是一种基于微纳结构的热传导式真空压力测量装置,它通过皮拉尼效应和热电耦合原理能够......
