真空传感器相关论文
本文在目前基于场发射原理的真空传感器研究得较少,尚无成熟的、可靠的产品问世的情况下,将MEMS技术和真空微电子技术相结合,提出......
文章介绍了一种利用MEMS技术制作加工的电容式微型真空传感器.该传感器采用p++硅自停止腐蚀技术和硅一玻璃键合技术制作,形成了硅-......
<正>故障36故障现象:一辆2016年款一汽-大众高尔夫轿车,装备CST发动机。用户反映车辆行驶中出现ABS和制动报警灯点亮故障。检查分......
发展了一种与CMOS工艺完全兼容并可在商业化的1．2μm标准CMOS生产流水线上进行流片的硅基热电堆真空传感器的制造技术与流程。传感......
非制冷红外焦平面探测器(Uncooled infrared focal plane detector array,IRUFPA)具有成本低、体积小、重量轻、无需制冷等优点,在......
场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析,确立了该种传感器中......
随着科学技术的发展,各种类型真空传感器在真空测量设备中得到广泛应用,日常测量和校准问题也日益得到相关计量部门的关注。通过对......
真空传感器是真空科学研究与真空测试技术中的重要器件。本文将传统的皮拉尼计与MEMS技术结合起来,研制了一款与标准CMOS工艺兼容......
某型号电容式真空传感器在实际使用过程中发生失效,表现为在不同介质压力下输出几乎稳定不变。通过解剖失效传感器,排除电路故障造......
评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状,并根据目前......
随着机器人、物联网和人工智能等技术的快速发展,传感器在现代社会中发挥着越来越重要的作用,是智能化系统感知世界的关键器件。气......
<正>案例1途观1.8T四驱车ESP与胎压警告灯报警故障现象一辆行驶里程约为9.4万km的2012年产上海大众途观1.8T四驱车,车主反映该车仪......
电子燃油喷射发动机冒黑烟的故障分析陈幼平，孙祝宽，袁翔（长沙交通学院汽车工程系长沙４１００７６）同化油器式发动机一样，电子燃油喷射发动机冒黑烟......
车型:进口2010年大众尚酷,配置CAVD发动机。VIN:WVWS13134AV××××××。行驶里程:47982km。故障现象:客户反映车辆在行驶过程中......
真空传感器ＭＫＳ仪器公司生产的ＳｅｎｓａＶａｃ系列９０７模拟对流转换器是一种可测量１０－３～１０００Ｔ真空压力的传感器。它包括一个连接电子控制电路的增强传递皮拉尼传感器......
设计了硅基MEMS粗真空传感器及其工艺流程,分析了 MEMS粗真空传感器的工作原理和过程,制作了MEMS粗真空传感器,并对其真空敏感特性......
为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感10~5～10~（-1）Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器......
