微执行器相关论文
微量和超微量作为现代科学技术一个重要的前沿问题,是人类探索认识微观世界的重要手段。本课题提出了一种通过将超微质量转换为超......
近年来宏/微执行器(dual-stage actuators system-DSA)作为一种受到广泛关注的高精度装置,其具有定位精度高、行程范围广、鲁棒性......
当前,由外部环境（例如:光,磁场,超声或电场等）驱动的无燃料式微型执行器的研究发展十分迅猛,尤其是磁驱动型微纳执行器,它们结构和种......
微型机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科.本文简要介绍了MEMS的历史、对各行各业发挥的重要作用以及研究的主要成......
本文采用溶胶凝胶法制备PZT薄膜,研究薄膜的改性工艺及其在微执行器中的应用,表征改性后薄膜的晶向、微观结构、介电、铁电、抗疲......
表面弹性波马达是一种以电声换能器产生表面弹性波，并通过马达动子和定子的接触摩擦将表面弹性波振动转换为马达动力的新型执行器。......
微机械数模转换器是一种用数字信号精确控制微执行器输出量的新方法,本文介绍了微机械数模转换器的概念,分析了“C-2C梯型网络”、......
在中国古代的道家典籍《庄子》里,有一则颇值得玩味的故事:蜗牛的两根触角上,各有一个小国家.它们常年征战不休,仿佛两根蜗牛触角......
基于压电双晶片本构方程,采用机电耦合系数的一种新的、更为合理的定义方法,分析了动态情况下悬臂梁式双晶片执行器或换能器的机电......
提出了一种新颖的基于权值的微机械数模转换器 ,它的原理与电路中的权电阻数模转换器类似。通过改变纵向梁的长度获得不同的刚性值......
提出了一种基于权间隙原理的微机械数模转换器(WGDAC),它与电路中的权电阻数模转换器的原理类似,利用间隙的长度作为比例因子,从而......
与静电微执行器类似,磁微执行器中也存在重要的Pull-in失稳问题。但相对于静电微执行器详尽的模型相比,研究磁微执行器的文献很少......
为了解决宏／微驱动系统中大行程和高精度之间的矛盾，研制了一种基于摩擦工作原理的压电陶瓷驱动的新型大行程、高分辨率步进式微执行......
介绍了一种新型的超声电机--声表面波直线电机.这是一种具有极高的分辨率(几个纳米),长工作行程(几十厘米)的微驱动器.文中从工作......
微执行器在整个微机电系统中直接面对其应用对象，需要满足定位精度高，稳定性好，响应速度快，控制方便的要求,柔性铰链以其特殊的性能广......
利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径，导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型．采用此模型，对硅基PZT压电悬臂梁型微执行器进行......
采用理论分析和有限元数值模拟相结合的方法,对压电折叠梁微执行器在低电压下工作时的器件结构进行优化设计。首先通过理论分析获......
为了解决宏/微驱动系统中大行程和高精度之间的矛盾,研制了一种基于摩擦工作原理的压电陶瓷驱动的新型大行程、高分辨率步进式微执......
引信小型化是引信的发展方向，但由于引信的体积很小，不可能采用通常的方法进行引信的设计和制造。因此引信技术与微机电系统（MEMS）技术......
概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技......
介绍一个硬盘双伺服控制系统的设计和实现。双伺服系统是在硬盘固有的音圈电机上附加了一个压电微执行器，用来执行更快捷、精确的磁......
光致弯曲薄膜是一种可遥控供能的新型微执行器驱动元件。介绍了光致弯曲薄膜的驱动原理,综述了光致弯曲薄膜微执行器的开发和研究......
首先建立了一个横向热驱动微执行器的热流模型。由于这个模型比较全面地考虑了热传导、空气自然对流和辐射散热等各种因素，因而较为......
在MEMS执行器的设计中,求出准确的pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中,在准静态假设下,电压控制的MEMS微执行器的pull-in模......
MEMS（Micro—Electro—Mechanical Systems微机电系统）是集微结构、微传感器、微执行器和微电控为一体的机电系统，是一个多学科交叉的......
从滑条式静磁微执行器的模型出发，应用静磁微执行器的pull—in方程，分析了滑条式静磁微执行器的pull-in现象，用磁动势控制模型和力学......
本文给出了一种基于轨迹分段线性化TPWL（Trajectory Piecewise-Linear）方法的非线性热电耦合宏建模技术。首先建立了MEMS热微执行器......
由于静电驱动具有结构简单、响应时间短和功耗小等优点,在微执行器中得到了广泛的应用.随着应用范围的不断扩大,实际使用中对微执......
简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点,并对微电子机械系统的典型器件如传感器,执行器等作了介绍与分析,提出了微......
本文介绍了国内外研制成功的可用作微小机电强链驱动的几种微执行器,包括可实现的旋转和直线运动的静电式、电磁式、压电式微马达......
智能材料具有感知和执行功能,近年来受到广泛研究.在微机器人领域智能材料作为微驱动器,有着广泛的应用前景.本实验制备了一种铁磁......
根据压电致动的工作原理,建立了圆片微驱动装置的压电复合层薄板的机电耦合力学模型:应用弹性薄板的小挠度弯曲理论,推导出圆形压......
与静电微执行器类似，磁微执行器中也存在重要的Pull-in失稳问题.对于宏观器件，由于磁芯磁阻可以忽略，所以可以利用电磁类比，得到Pull-i......
微机电系统（MEMS：Micro Electro-Mechanical System）技术或微传感器与微执行器（Micromachined Tranducers）技术，它是在微电子技术的基础......
提出了一种将铁电材料与MEMS集成的新趋势,并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器.......
应用一种演化计算技术--微粒群优化算法(PSO),对所设计的惯性式压电执行器进行求解.为进一步提高算法性能,又提出用模糊逻辑在线调......
探讨了表面弹性波马达的工作机理和优化设计.采用具有能量循环功能的表面弹性波换能器结构,提高了表面弹性波马达效率,将马达的驱......
以新型功能材料为驱动元件的微执行器是精密加工、超精密加工和微机械发展的关键技术之一,对其驱动元件、结构设计、加工制造和精......
精密加工和超精密加工是先进制造领域的重要方向之一．而精密微驱动技术，即微执行器技术是精密加亡和超精密加上实现的关键，有关微执行......
针对微机电系统中电热微执行器和位移放大机构都具有柔性的事实，从理论上分析了作为负载系统的柔性位移放大机构对微执行器输出位移......
简要伸张敢系统在各个领域的应用。...
本文针对引信发火控制电路中微执行器输出力矩弱的特点,利用微沟道和凝胶纤维把化学能转化成机械能形变技术,设计了一种新型MEMS微......
主要介绍了微机电系统的发展、设计与传统的加工工艺,并对 MEMS的应用及发展前景作了简要概述.......
在微机电系统中,微执行器是核心部件.为了优化设计微执行器,通过对比近年来各种微执行器的研究和发展,系统地总结了线性位移微执行......
