干涉显微镜相关论文
相移误差在很大程度上影响着相移数字显微全息的测量精度。相移误差可大致分为数值误差和不均匀误差两类。相移器的标定错误和环境......
一、现行评定方法存在的问题轴承行业乃至与轴承行业有关的其它行业普遍反映轴承特别是钢球的表面粗糙度评定方法不合理,不仅没有......
衍射光学元件(DOE)表面形貌的测量需要解决因表面结构深度较大和表面不连续给测量带来的困难.本文将双波长测量法的思想推广应用到......
本文讨论激光外差干涉技术测量表面粗糙度仪器的工作原理。作者利用两个声光调制器产生差频光,解调拍频信号并进行鉴相处理,精确测......
本文研究了将光致抗蚀剂衍射光学元件的连续沟槽蚀刻到基底层上的技术。实验分析了基底层沟槽与原版沟槽的形状和深度之间的关系。......
为实现高精度量块表面粗糙度的快速、无损伤、自动化检测,研制了一套基于干涉图像处理的表面粗糙度检测系统。系统由干涉显微镜、......
球面的曲率半径是决定透镜光学性能的主要参数之一，在透镜制造过程中保证曲率半径的数值大小是保证质量的关键。在广泛分析了各种球......
电子散斑干涉测量(ESPI)是一种结合了激光、计算机、CCD和图像处理的现代光学测量技术,由于具有非接触、高灵敏度、全场测量等优点......
本文研究的是一套通过干涉显微镜成像,利用CCD相机提取干涉条纹进行图像识别和处理,实现高精度工件表面粗糙度快速、非接触、自动......
研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪，分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术，实现了基于该项技术的光干涉显微......
摘要：基于显微白光干涉术，利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图，并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法......
A novel hybrid instrument of contact and non-contact measurement with large range is developed, and both measure-ment sy......
介绍了基于国产6JA干涉显微镜的智能三维轮廓测量仪。仪器的垂直测量范围达80μm，垂直分辨率达1nm；仪器可用于多种材料、多种形状的......
介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA干涉显微镜的改造，研制出WIVS三维表面形貌测量仪。该仪器能够精确有效地测量Ra值为0．001-......
利用常规的干涉显微镜和立式光学计管或接触式干涉仪光管组合，并对干涉显微镜读数目镜进行技改，用来检测精细刻痕深度。例举单刻线样......
目的:了解氟化物控释装置对钴铬合金的腐蚀性.方法:合成氟化物控释装置,制作钴铬合金试片24个,打磨抛光后随机分成4组,分别浸泡于2......
白光干涉术测量表面形貌，解决了单色光干涉测量中的相位不确定困扰。基于扫描白光干涉术的空间频域算法，具有受噪声影响小、计算精度......
第三十四讲 干涉显微镜1结构和工作原理干涉显微镜（以下简称仪器）主要南主体，工作台、干涉头、测微日镜、照明系统和摄影系统等部分组......
在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统,使其快速获取高清晰干涉图像,提高了三维形貌的测量速度和测量精度.调焦系统采用图像自动......
本文介绍一种可以用来剖析大规模集成电路芯片上多层薄膜分布的“镜面磨角—干涉显微镜”观测法。膜间界面比较清楚,使用国产6JA型......
研究了定量测量物体外形的方法．在微分干涉显微镜载物台上放置平面镜和楔形微调器．通过微调101次，使得垂直入射的两柬平行光反射后得......
提出了应用于干涉显微镜焦距调节的直线压电叠堆作动器和微动台。介绍了基于三角位移放大原理的压电作动器结构设计,利用ANSYS的AP......
改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差β的消零工作提出了一种新的方法,......
1测量原理相移干涉显微镜是干涉术与显微术结合的产物，由双光束干涉理论可知，干涉场光强分布用下式表示I（x，y，t）=I1＋I2＋2I1I2cos[φ（x，y）＋δ（t）]（1......
本文介绍了借助于数码相机将干涉显微镜正气图像展示在计算机屏幕上的方法,解决了膜厚测量实验中的常见问题,加快了实验调节的速度......
微小表面的几何参数对光学零部件成像质量起着决定性作用。微小表面的特点是口径小,采用常规干涉仪对其表面的几何参数无法实施精......
光学元件的微观形貌会直接影响光学系统的性能和精度。微观表面形貌的测量方法有很多,其中光学干涉测量法具有精度高、速度快、测......
干涉显微镜是基于光波干涉原理测量精密加工表面光洁度的仪器,对不太熟悉此种仪器的使用者,常不易得到清晰的图象。本文介绍使用中......
本文报导了用国产6JA 型干涉显微镜测量光纤的折射率分布所得到的结果(用切片干涉法),并介绍了切片样品的制备工艺,讨论了实验结果......
将干涉显微镜的应用推广到透明薄膜厚度的测量,扩展了干涉显微镜的测量范围和应用领域.基于菲涅耳公式,分析了透明薄膜界面的反射.......
追踪分析世界上表面微观形貌检测方面显微干涉检测原理的最新进展 ,比较干涉显微镜用于检测表面微观形貌时具有的形式、结构特点 ,......
介绍了干涉显微镜测量原理、仪器结构、空间分辨率和测量范围,分析了测量误差产生的原因,通过实验表明:干涉显微镜能够比较真实地......
<正> 《计量技术》1985年第2期发表的“6J型干涉显微镜干涉条纹的寻找及对比度的调整”一文（以下简称“寻找与调整”）,介绍了单色光......
随着科学研究和先进制造技术的发展,微电子、光学、机械行业对超精密加工元件的表面面形精度检测要求越来越高,工业生产在线检测对......
在技术测量中粗糙度的测量有4种,粗糙度样板比较、光切法显微镜测量、干显微镜测量、电动轮廓仪测量.下面对这4种测量法分别进行分......
为了精确定位白光干涉条纹的零光程差位置,采用空间频域算法通过傅里叶变换提取白光干涉信号中心波长的相位信息并结合包络中心算......
根据光波干涉原理,可分析相村显微镜和干涉显微镜中相物体的成象过程,並可得出几种类型干涉显微镜的优缺点,在此基础上研制出相衬......
