超纳米金刚石薄膜相关论文
掺氮超纳米金刚石（N-UNCD）薄膜不仅具备传统金刚石优异的物化性能，而且显现出纳米材料和N型半导体的一些特殊效应，应用前景广阔。N-UNC......
超纳米金刚石(UNCD)是一种全新的纳米材料,具有许多独特性能.介绍了Si微尖和微尖阵列阴极沉积超纳米金刚石薄膜的工艺及其场发射特......
研究4种不同气氛下制备的可应用于MEMS方面的超纳米金刚石薄膜的显微力学特征。利用纳米压痕技术得到样品的加载-卸载曲线及硬度和......
采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术，利用氩气、甲烷、二氧化碳混合气体，制备出平均晶粒尺寸在7．480nm左右，表面粗糙度在15．72nm左......
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硅基MEMS器件最主要的问题是硅具有低的机械和摩擦性能，限制了其在弯折和运动MEMS器件中的应用。超纳米金刚石薄膜优异的机械、化学......
超纳米金刚石薄膜(Ultra-nanocrystalline Diamond,UNCD)具有极小的晶粒尺寸、极低的表面粗糙度、化学惰性以及高导电性和优异的场......
研究4种不同气氛下制备的可应用于MEMS方面的超纳米金刚石薄膜的显微力学特征。利用纳米压痕技术得到样品的加载-卸载曲线及硬度和......
利用微波等离子气相沉积法在5％～20％的氢气浓度下，制备出了超纳米金刚石薄膜（UNCD）。利用扫描电子显微镜、XRD、表面轮廓仪及拉曼光谱研究......
