铝合金薄膜相关论文
用快速凝固技术制备AlMn7、AlMn5Si5合金薄膜,用示差扫描量热法(DSC)、透射电子显微镜(TEM)、X射线能量分散谱仪(EDS)等检测技术对......
在电子工业中,为了制备低电阻率的Al合金薄膜,需要对薄膜进行退火。虽然材料的电阻率与其电输运性能密切相关,然而到目前为止,对于......
本发明的目的在于提供一种具有与ITO膜同等水平的电极电位、不存在硅扩散、电阻率低、耐热性优异的铝合金薄膜。本发明的含碳铝合......
近年来，铝合金薄膜广泛用作半导体集成电路的电极布线材料。作为制备溅射薄膜材料的铝合金靶材也获得了相应的应用。本文介绍了集成......
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