在6H-SiC衬底上生长Si薄膜,希望以此作为光吸收层,实现SiC功率器件的非紫外光触发。Si/SiC异质结的光电特性与Si薄膜的生长质量关......

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以6H-SiC(0001)Si面和Si(100)为衬底,采用磁控溅射Fe-Si合金靶和Si靶两靶共溅射的方法,并经过后续的快速退火成功制备了β-FeSi2薄......