LIGA工艺相关论文
针对在电子器件上镀覆纯镍无法满足高硬度、高强度以及强耐磨性需求的现状,采用电沉积的方式制备了纳米金刚石增强镍基的复合镀层.......
对于带有微型结构模型制件的注塑成型工艺,采用类LIGA精微注塑成型是一种低成本高成效的途径.详细阐述了制备模制件骨架的类LIGA工......
本文从LIGA工艺的工程应用角度,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题,初步分析了这两类......
微机械、微机电系统(MEMS)的实用化对自由度大的三维加工方法提出了更高的要求.利用同步辐射(SR)X射线所具有的准直性、透过性的LI......
对两种横向变形的终止位置定位机构进行了力学分析，选择对被定位件滑块卡入阻力小的终止位置定位机构结构形式．根据少装配原则与满足......
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,......
介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like－LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLI......
设计和制作了一种直径为1.5mm圆筒型微型永磁同步马达,应用永磁体钕铁硼为马达转子,马达定子采用可挠线圈与导磁外壳相结合的结构;......
论文针对纳卫星(重量低于10公斤)和皮卫星(重量低于1公斤)中飞轮姿态控制、执行元件对微电机输出力矩、角动量、体积、重量和使用......
为提高微电机的输出力矩，增加微电机散热能力和电流密度，提高电机工作效率，设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转予对称分布......
