LIGA工艺相关论文
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,......
针对在电子器件上镀覆纯镍无法满足高硬度、高强度以及强耐磨性需求的现状,采用电沉积的方式制备了纳米金刚石增强镍基的复合镀层.......
对于带有微型结构模型制件的注塑成型工艺,采用类LIGA精微注塑成型是一种低成本高成效的途径。详细阐述了制备模制件骨架的类LIGA......
该研究论文主要对微电子机械系统的制作工艺-激光LIGA工艺(LIGA工艺技术源自德国,名词LIGA是德文光刻、电铸、模铸的打头字母的组......
本文从LIGA工艺的工程应用角度,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题,初步分析了这两类......
微机械的迅速发展是近六、七年的事情。它的发展是从应用单晶硅的微细加工技术做出的微马达和微齿轮开始的。为实现微机械，需要材料......
微机械、微机电系统(MEMS)的实用化对自由度大的三维加工方法提出了更高的要求.利用同步辐射(SR)X射线所具有的准直性、透过性的LI......
对两种横向变形的终止位置定位机构进行了力学分析，选择对被定位件滑块卡入阻力小的终止位置定位机构结构形式．根据少装配原则与满足......
对带有微型结构模式制件的注塑成型工艺，采用类LIGA精微注塑成型是一种低成本高成效的途径。详细阐述了制备模制件骨架的类LIGA工艺......
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,......
简单介绍微系统技术中ＬＩＧＡ工艺的发展，基本工艺步骤，特点和应用情况。...
介绍了利用激光ＬＩＧＡ工艺中的激光深层光刻技术对紫外光刻胶进行深层光刻的实验研究成果，对远紫外激光与光刻胶相互作用的机理进行了讨论......
介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like－LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLI......
The stronglink with multi-try function based on MEMS technology and the PC startup in authentication system have been de......
设计和制作了一种直径为1.5mm圆筒型微型永磁同步马达,应用永磁体钕铁硼为马达转子,马达定子采用可挠线圈与导磁外壳相结合的结构;......
论文针对纳卫星(重量低于10公斤)和皮卫星(重量低于1公斤)中飞轮姿态控制、执行元件对微电机输出力矩、角动量、体积、重量和使用......
本文叙述了适用于微型机械制造的一种新的工艺—LIGA工艺的技术组成。着重介绍了LIGA工艺中X射线光刻掩模的制作步骤和方法。......
三维微细加工中的LIGA技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与之配套的辅助工艺尚不完善，因而......
本文介绍用于微型机械LIGA工艺的精密电铸设备。文内给出了精密电铸设备的技术参数、系统结构、软件流程及初步实验效果。此设备填......
介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并将该装置成功地应用于ＬＩＧＡ工艺深层的光刻中，光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大......
为提高微电机的输出力矩，增加微电机散热能力和电流密度，提高电机工作效率，设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转予对称分布......
