LaAlO3薄膜相关论文
LaAlO3介电常数较大,介电损耗小,与多种高温超导薄膜、铁电薄膜、巨磁阻薄膜等晶格失配小,可用作衬底、缓冲层或直接用作金属氧化......
在室温下,采用射频磁控溅射法在p-Si(100)衬底上制备了铝酸镧(LaAlO3)薄膜,分别在800 ℃,900 ℃和950 ℃下进行退火处理。利用X射......
近年来,LaAlO3/SrTiO3界面的准二维电子气受到很多关注[1].LaAlO3和SrTiO3本身都是宽禁带的绝缘体.当把几个纳米厚的LaAlO3薄......
在等比例缩小原则的约束下,为了保持优异的MOS器件的性能,同时又要抑制过大直接隧穿电流和保持栅氧化层的可靠性,这时就需要寻找一......
在室温下,采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了具有高介电常数的LaAlO3薄膜,这是一种新的栅极电介质材料.在高纯O2中经过15min 650......
长期以来,钙钛矿结构氧化物材料具有良好的介电性、铁电性、光电性、铁磁性、超导等性质,引起人们广泛的关注。铝酸镧(LaAlO3)是一种......