MIM电容相关论文
射频集成电路(Analog integrated circuit,Analog-IC),是Analog-IC的重要分支,对射频电信号进行处理,并将其转化为电磁波进行发送,......
电容作为一种主要的无源器件在集成电路的设计应用中越来越多。而MIM(Metal Insulator Metal)电容凭借其低寄生电容,低接触电阻的优......
阐述了无源元件在MMIC设计中的重要性及MIM电容模型参数提取的几种方法。以简化的MIM电容等效电路为基础,通过IC-CAP建模软件,建立......
采用0.18μm混合信号1P6M CMOS工艺,介绍了一种高精度流水线模数转换器的全定制版图设计。该芯片为数模混合信号IC,工作电压1.8 V/3.......
金属-绝缘层-金属(Metal-insulator-Metal,MIM)电容在模拟和射频集成电路中有重要的应用需求。该结构的存在,对底层金属连线的光刻工......
研究了磁控溅射法制备得到的MIM结构ZrSiO薄膜电容,ZrSiO薄膜的制备以沉积时和沉积后退火过程中的氧气流量为主要工艺参数,重点讨论......
文章采用0.18μm混合信号1P6M1.8W3.3VCMOS工艺,介绍了一种高速直接式数字频率合成器的全定制版图设计。该芯片为数模混合信号IC,电路内......
结合人工神经网络和电磁仿真,给出了一种用于综合交指电容及Metal—Insulator—Metal(MIM)电容结构参数的方法。基于逆向神经网络,可有......
设计采用了集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)工艺设计了一款集总式紧凑型椭圆函数高通滤波器。设计采用砷化镓GaAs作......
探讨了氧气等离子处理法对基于ZrAlO薄膜的MIM结构电容电学性能的低温工艺优化。ZrAlO薄膜用射频磁控溅射法制得,之后在不改变真空......
随着摩尔定律不断地推动着集成电路工艺向前进步,芯片的特征尺寸越来越小,工作频率越来越高,金属互连线所占的面积越来越大,传统的......
最近十年,无线领域如手机、智能化运输系统和可视电话取得了令人瞩目的发展,迫切需要这样一个收发机:高度集成、低成本、小面积和......
本文基于CMOS工艺,采用Designer与HFSS软件对平面螺旋电感进行了设计与建模,提取了不同圈数,不同线宽,不同线间距以及不同内径的电......
近年来,高速柔性电子以其结构轻薄、可弯曲折叠、机械性能稳定、高效以及更轻的质量和低成本制造工艺等优势得到了国内外广泛关注......
随着集成电路的发展,传统的电容器件已经不能满足射频电路的要求。金属-绝缘体-金属(MIM)电容器件成为替代传统电容器的新型电容器件......
本文通过恒定应力加速实验对GaN微波单片集成电路中SiN介质MIM电容的可靠性进行了评估,研究了高场下MIM电容的两种失效模式、临界......
研制了一套用于片上皮法级电容测试系统的电容标准件,量值低至1 pF,频率达到1 MHz。该电容标准件采用GaAs衬底,金属-绝缘层-金属(M......