研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律，从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响......

提出了一种基于法布里-珀罗干涉的方法用于原子力显微镜微悬臂偏移量的检测.设计了一个球面反射镜与微悬臂组成的半球面布里-珀罗......

　　Photothermal effect,a well-known phenomenon m optical systems [1],has recently been recognized as an efficient optom......

测量技术的在里面飞机负担被开发执行力量测试微伸臂。把定理基于电磁，微 UTM (Universa！TestingMachine ) 内部地与负担范围 +-1 N ......

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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......

大分子的构象转变问题，作为人类认识生命现象的基础，是当前生命科学研究的热点问题之一。本文运用光杠杆放大原理，通过检测单侧表面上......

随着纳米材料和纳米技术的发展，对纳米级横向分辨率弹性测量及对次表面缺陷纳米范围成像方法的需求日趋增加，而目前传统的测试方法无......

提出了一种基于数字相关法初始值优化的微悬臂梁弯曲变形与应变测量方法.基于放大的微悬臂梁表面的纹理特征,在尺度空间内进行特征......

对原子力显微镜（AFM）在接触和非接触工作模式下的平衡状态和稳定性进行了研究，分析研究了微悬臂梁的长度以及探针与被测样品表面之间......

首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁，然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版，通过二次......

考虑静电力边缘效应的影响，建立了微悬臂梁大挠度变形的静态变形分析模型，通过梁弯曲理论将控制方程化为一阶非线性微分方程组，结合非......

提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构，并将其用于催化燃烧式气体传感器结构的基底。采用平面薄膜......

微悬臂梁是新型力学传感器的关键部件,其性能决定力学测试结果的准确度。为了定量研究微悬臂梁与样品表面间的相互作用力,须对微悬......

利用有限元仿真分析方法,模拟不同特征应力集中区域(SCR)对微悬臂梁测量性能的影响,得出微悬臂梁结构引入不同形式特征SCR后所产生......

针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题，介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理，阐述了应力响应机制的简化模......

在基于光杠杆原理检测微悬臂梁变形的生化传感实验系统中,液体折射率的变化会导致PSD上光斑的位移,从而影响系统的检测信号。本文......

微悬臂梁作为原子力显微镜中感受微观力的关键元件,其法向和横向弹性常数的可溯源测量是微观力准确定量的前提。受微电子加工工艺......

采用化学修饰法,将酸性羧基基团嫁接于高比表面的积的SBA-15介孔材料中,然后将该功能化介孔材料负载于集成谐振式微悬臂梁表面,制......

考虑静电力边缘效应的影响,建立了微悬臂梁的静态变形分析模型,通过梁弯曲理论将控制方程化为一阶非线性微分方程组,结合打靶法和......

研究了红外光源激励下,以碳纳米管薄膜为吸光层的复合结构微悬臂梁的光热响应特性.建立了温度分布理论模型和光热挠曲理论模型,进......

MEMS和其它微系统产品中许多致动器利用静电力作为驱动力。在许多微型电动机和致动器的设计中，分析静电力作用下微梁结构参数如悬臂......

当压力作用在ZnO压电薄膜微悬臂梁上时,产生电荷量的大小将直接决定压电传感器灵敏度的高低。根据等效截面法,推导了复合微悬臂梁......

将基底与微悬臂梁间的接触简化为一理想平面基底与微悬臂梁粗糙面间的接触,在考虑微悬臂梁的弹性恢复、两接触体的弹塑性变形以及......