Ti膜相关论文
在高比能电池体系中,锂空气电池由于利用空气里的O2作为活性材料,因此相比传统脱嵌式的正极能够提供更大的能量密度。锂空气电池以......
在加速器上,利用不同能量的D~+离子束对Ti膜进行连续辐照,利用慢正电子湮没技术和SEM对束流辐照前后Ti膜进行表征.结果表明,D~+离......
利用X射线光电子谱仪 (XPS)分析和Ar+ 刻蚀相结合的方法 ,分析了Ti膜表面的化学元素及相应原子的电子结合能。分析结果表明 :Ti膜......
介绍了一种硅通孔中阻挡层和种子层制备的新型工艺方法。利用磁控溅射的方法在SiO2上沉积1μm的Ti膜。表层的Ti膜湿法氧化后作为种......
对3μm厚Ti膜的中子反射率谱进行理论计算，得到了Ti膜在不同含氘量（TiDc，c=0.5、1.0、1.5和2.0）、表面是否氧化下的反射率谱。数据表明......
利用石英管型波等离子体化学气相沉积装置在Si衬底上沉积了纳米片状碳膜,然后采用电子束蒸镀方法在碳膜表面沉积了一层2 nm厚的Ti......
研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响。结果表明,合金化使Ti膜由α......
采用He／Ar复合气氛下磁控溅射方法，在Ti、TiZrYAl和TiMoYAl等3种薄膜中引入浓度(氦-金属比)高达0．19的氦。引入的氦在膜层内沿深度均......
在氦气和氩气混合气氛中用磁控溅射法制备含氦Ti膜.应用透射电镜观察不同氦气和氩气流量比对Ti膜微观结构及氦泡形貌和分布的影响,......
通过AFM针尖诱导氧化加工Ti膜的实验得到了凸出的Ti膜氧化物高度与偏置电压成线性关系，并和针尖扫描速度成负对数关系，在前人的基础......
在利用Top-Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节.采用金属Ti-SOS结构的纳......
通过在不同的速率下蒸发相同厚度的Ti金属薄膜,研究电子束蒸发速率对Ti膜表面形貌和性能的影响。试验表明随着Ti蒸发速率的提高,薄......
本文利用场发射扫描电子显微镜和能谱仪研究不同样品室真空度条件下磁控溅射Ti沉积膜膜层的氧含量和微观结构。结果发现，当样品室真......
研究在磁控溅射工艺中工作压强和溅射时间恒定的情况下,溅射电流的变化对钛膜与基底Gd结合能力的影响。通过拉伸法测量薄膜与基体......
为了研究在磁控溅射工艺中溅射电流和溅射时间恒定的情况下，氩气工作压强的变化对钛膜在基底表面沉积的影响，通过用原子力显微镜分析......
真空溅射镀膜是提高零部件表面性能、延长其使用寿命的一种重要手段。然而对复杂形状工件,如头罩、凸轮、模具等,工件表面不同部位......
采用直流磁控溅射方法制备了纯Ti膜,研究了不同功率下Ti膜的沉积速率、表面形貌及晶型结构,并对其应力进行了研究。研究表明:薄膜......
高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)因其高离化率而得到广泛关注。高压大电流脉冲电源是实现该技术的重要环节之一。本论文介绍了一种HPPMS......
采用磁控溅射法在玻璃基底上制备出一层特殊结构的Ti膜,该钛膜经过电化学阳极氧化和退火工艺处理,可直接在玻璃基底表面形成一层具......
利用:EELS和AES原位研究了室温下在O2气氛中金属Ti和铀表面Ti膜初始氧化过程中表面结构的变化。结果表明,金属Ti和Ti膜表面氧化层......
实验研究了在磁控溅射工艺的溅射功率和工作压强恒定的情况下，薄膜在基底表面的沉积及生长的过程。结果表明，在溅射参数恒定、Ti膜尚......
