a-SiO_2 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

a-SiO_2相关论文

低温衬底的射频反应溅射法制备a-SiO_2薄膜的研究

低温衬底使器件在制膜过程中避免热伤害．研究得到强水冷衬底的射频反应溅射法制备ａ－ＳｉＯ２薄膜的最佳工艺条件．所制得的薄膜具有好的致密......

期刊

反应溅射 a-SiO_2 非晶工艺条件抗腐蚀性溅射功率致密度射频溅射淀积率总压强

DV-X_a计算a-SiO_2电子结构

利用离散变分X_(?)(DV-X(?))的方法,非经验地计算非晶二氧化硅(a-SiO_2)电子结构,得到了与实验值较一致的结果,并研究a-SiO_2体结......

期刊

电子结构 DV-X_a a-SiO_2 结构畸变原子簇键长键角第一性原理杂化轨道无序结构

看过本文同时还关注