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研究了用Mn--Co--Ni--O薄膜材料制备的热敏红外探测器件，并主要通过调控衬底热导改进了器件性能。对于较薄的探测元，研究了具有微桥......
通过理论计算得到了桥腿长度和宽度与热导和桥面温升之间的线性关系，辐射功率和桥面温升之间的线性关系，并利用ANSYS软件对线性关系......
采用微加工技术制作测辐射热计阵列时，部分微桥可能发生结构变形，使阵列的性能下降甚至无法正常工作。采用有限元分析方法，对在热膨胀......
利用硅单晶的各向异性腐蚀技术，研究了UFPA探测器的微桥腐蚀工艺．采用独特的腐蚀装置在厚度为300μm的硅基片上成功地制备了腐蚀坑深......
