低温淀积相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

低温淀积相关论文

用于薄介质栅的PECVD法低温形成SiO_xN_y薄膜及其电学特性

研究了用作薄介质栅的等离子体增强化学气相淀积（PECVD）方法低温形成的SiOxNy薄膜与其电学特性．探索该薄膜电学特性与微观组分，反应室......

期刊

电学特性反应室 PECVD 低温淀积平带电压 SiO_xN_y

影响集成电路可靠性的工艺因素及改进措施

<正> 引言为了提高集成电路的可靠性,需要找到引起集成电路失效的物理机构,提出器件设计和制作工艺的改进措施,以利于提高器件的可......

期刊

封装工艺低温淀积二氧化硅金属化层工艺因素

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