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区熔单晶硅应用于原生多晶硅成分检测问题研究
多晶硅是电子信息产业和光伏新能源产业的基石。使用改良西门子法生产的多晶硅产量约占全球多晶硅总产量的80%。改良西门子法又称......
学位
多晶硅
单晶硅
区熔法
电阻率
少子寿命
分凝系数
位错密度
体金属杂质
施主杂质
受主杂质
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