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近年来,随着电子元器件向微型化、薄膜化、高频化、集成化等方向发展,这样就对作为电子器件基础的功能材料提出了更高的要求。为适......
倾斜沉积技术(GlancingAngleDeposition，GLAD)是一种将传统的薄膜真空沉积与可控的衬底转动结合起来的新颖、有效的薄膜制备方法。......
中温固体氧化物燃料电池(Intermediate Temperature Solid Oxide Fuel Cell, Intermediate Temperature SOFC)是一种环境友好型能......
使用倾角电子束蒸发技术制备了TiO2雕塑薄膜,通过对雕塑薄膜在不同退火温度和退火时间下进行热处理,发现热处理工艺可以优化薄膜的......
倾斜沉积是一种新型的薄膜沉积技术。通过制备过程中基片的旋转和倾斜,可以制备出斜柱状、之字形、螺旋状、S形以及C形等各种形状......
采用反应磁控溅射倾斜沉积（GLAD）的方法制备了多孔柱状晶的ZrO2薄膜，研究了不同沉积角和靶基距对薄膜结构和光学性质的影响．结果表明，倾......
基于倾斜沉积薄膜材料的双折射特性,采用单一TiO2设计和制备了中心波长为632 nm的双折射消偏振膜。首先以60°和70°的沉积角度镀......
