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随着高科技领域的飞速发展,对于微流控芯片的需求不断增加。有机玻璃PMMA价格低廉,成型方便,具有良好的光学性能和生物兼容性,是目......
准分子激光微细加工技术以其较高的精度,较低成本及较快加工速度在微机械加工领域受到了极大的重视.它利用准分子激光波长短、光子......
利用准分子激光修饰微构件常用的Al2O3陶瓷试件,通过改变准分子激光加工工艺参数获得不同的微观表面,并用自行研制的微摩擦测试仪......
本文采用准分子激光加工方法,选择不同的工艺参数对Al2O3陶瓷材料试件进行加工,通过表面轮廓仪测量表面微观形貌,并计算其表面轮廓......
准分子激光加工表面的分形特征的研究未见有报道,文章论述了准分子激光加工的表面可以是分形表面,计算了准分子激光加工某些陶瓷表......
采用准分子激光微细加工方法,选用不同的工艺参数加工Al2O3陶瓷材料试件.通过表面轮廓仪测量并计算表面形貌统计参数.分析了激光加......
准分子激光加工的表面的分形特征的研究未见有报道,本文首先分析了准分子激光加工表面可以具有分形特征,说明可以用分形理论来对它......
采用了准分子激光和研磨两种不同的加工方法，在微构件常用的Al2O3陶瓷材料表面构建表面微观形貌．通过表面轮廓仪测量加工试件表面形......
准分子激光加工是解决MEMS中微摩擦问题的手段之一。通过研究准分子激光加工表面轮廓的分形特性，探索准分子激光加工表面轮廓分析中......
表面微观形貌修饰是改善和控制表面微摩擦性能的一种方法。采用准分子激光表面形貌修饰技术在Al2O3陶瓷材料表面构建微观形貌，通过......
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采用准分子激光加工方法,在相同的工艺参数下加工了脆性材料(A1203陶瓷)和塑性材料(不锈钢、Q235钢)试件.采用分形理论研究了准分......
以微机械为应用背景,采用准分子激光加工方法对Al2O3陶瓷材料表面进行加工,考察加工表面的形貌特征.研究表明,准分子激光加工表面......
用紫外波长为λ=248nm的准分子激光器,分辨率为50nm的精密微动工作台及其控制器,在一定的工艺参数下,对Al2O3陶瓷、不锈钢等材料表......
