力敏器件相关论文
该文介绍了工业变送器的特点及其对力敏器件的特殊要求，以扩散硅变送器为例，简要介绍了国内外变送器用力敏器件的现状，发展趋势，并对发......
该文介绍了扩散硅力敏器件计算机辅助设计的组成和方法。根据各种硅杯形式的有限元分析结果，计算力敏器件的性能。给出了几种硅杯形......
在力敏器件的硅杯膜片上，形成一层聚酰亚胺膜，与硅片形成双晶片结构，构成一种新型湿度传感器。该文论述了这种湿度传感器的原理、工艺......
介绍了工业变送器的特点及其对力敏器件的特殊要求，以扩散硅变送器为例，简要介绍了国内外变送器用力敏器件的现状及发展趋势。......
一、引言硅—兰宝石集成力敏器件是在硅压阻型力敏器件基础之上发展起来的一种新型的无结固态压阻型力敏器件。和硅集成力敏器件相......
本文叙述的EI型扩散硅力敏器件为工业变送器配套使用的微差压传感器，其压力量程为0．6kPa，线性优于0．5％。该器件填补国内空白，器件性能指......
本文阐述了Ｅ型膜片的结构特性，根据其应力分布特点及硅材料在（１１０）晶面的〈１１１〉晶向上具有最大压阻系数，开展了力敏芯片的最佳设计，并进行了Ｅ型......
介绍了扩散硅力敏器件计算机辅助设计的方法。根据方型硅杯形式的有限元分析结果，计算力敏器件的性能。给出了方型硅杯形式的应力和......
硅微机械力敏器件在封装时往往采用硅－玻璃静电键合的方法。但在静电键合时静电力也往往作用于不需要键合的结构部分。并可能引起这......
力敏器件中间测试装置与其它中测装置的区别在工作台上。本文介绍了用于传感器力敏器件中间测试的加载工作台的特点，介绍了工作台负......
<正> URS型压阻式深度计,是液位测量领域中的新型仪表,具有结构紧凑、安装方便、测量准确和灵敏度高等特点。该深度计测量头可直接......
<正>灵敏度和非线性是表征硅压阻式压力传感器性能的两个最重要参数,这是压力传感器的设计目标.最初出现的硅压阻式压力传感器都采......
信息技术是由信息采集、传输和处理构成.信息采集又是信息技术的前提和基础,而传感器就是信息采集的最基本功能器件,其应用市场的......
本文通过大量的文献资料,评述汽车MEMS(微机电系统)传感器的应用现状及发展趋势,其中重点介绍几种传感器的原理和结构,同时对该领......
针对空间站用光学仪器上微尺度力学敏感器件随机振动响应值过大的问题,对该器件进行微尺度、精细化建模,研究其力学特性,并对其随......
扩散硅压力传感器是利用力敏器件制成的一种新型的压力传感器。由于它测量精度高,体积小,重量轻,工作可靠,频率响应快等优点,受到......
