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本文首先提出了对集成电路制造中局部缺陷的粒径进行分析的局部等效圆形缺陷理论，从而得到了衡量缺陷粒径模型精度的准则。其次，对真......
本文对集成电路制造过程中的缺陷空间分布模型和IC的容错结构及其成品率做了系统地理论研究。主要研究结果如下： 根据缺陷在圆片......
大规模集成电路(VLSI)使亚微米特征尺寸的大面积集成电路制造以及集成数百万个器件在一芯片上成为可能。然而，缺陷的存在致使电路版......
本文对集成电路制造缺陷模型、由制造缺陷导致的软、硬故障的作用机理、软故障对电路可靠性和成品率的影响以及由制造缺陷导致的电......
本文对集成电路功能成品率模型以及模型参数的提取方法进行了系统研究。主要研究结果如下： 研究了工艺缺陷引起电路故障的机理。......
