半导体光刻相关论文
和几乎所有半导体光刻领域涉及的其它事情一样,光掩膜缺陷检测和消除正经历着一场革命,因为新的缺陷类型需要更多创新的清洗设备和......
对分步重复投影半导体光刻机相位光栅对准信号作详细的分析，提出了更加合理精确的计算模型，并与其他论文中的实验数据作了初步比较，模......
深紫外激光由于波长短、能进行更高精度加工的优点,在半导体光刻、激光光电子能谱仪和激光切割上具有重要的应用。目前,KBe2BO3F2（K......
简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求。简述了高压脉冲电源的基本原理及应用,介绍了全固......
1曝光设备当前,在半导体器件生产中,用于65nm制程的器件已进入量产,而用于45nm制程也已成熟,即将进入量产期。
1 exposure equipm......
以生物芯片及其制作过程来重点介绍采用半导体光刻技术制作基因芯片,通过与传统光引导合成法的比较,表明了这种方法在制作高密度寡......
