光掩膜相关论文
本文采用基于金兹堡-朗道理论（Ginzburg-Landau theory）的元胞动力学方法（Cell Dynamic System）研究了光掩膜诱导的聚合物/纳米粒子共......
期刊
和几乎所有半导体光刻领域涉及的其它事情一样,光掩膜缺陷检测和消除正经历着一场革命,因为新的缺陷类型需要更多创新的清洗设备和......
为了将平面金属膜紧密耦合到纳米光栅形成的表面等离子体共振传感器,以提高灵敏度,以及利用亚微米光栅调整共振反射波长,需要制备......
飞秒激光能够利用超高速的速度将能量集中在一个限定的区域，这样就能够实现对材料的冷加工。目前，在材料微加工中，对飞秒激光的应用已......
摘 要：以往清洗光掩膜时采用的清洗技术用到了浓硫酸、SC-1等溶剂，会在一定程度上导致硫酸根以及铵根离子残留在膜表面。随着微影技......
半导体工程师寻找有用的自显影光刻胶已有多年。这种光刻胶可用于半导体加工过程中很少几个阶段,可能节约生产成本。虽然已研究过......
光掩膜的制造是集成电路制造的关键工艺,掩膜的质量是直接影响到集成电路的技术性能和产品的成品率。特别是由于集成电路向着高密......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
近年来,在市委市府聚焦张江的战略决策指导下,上海市张江高科技园区在建设中国大陆集成电路产业高地、构造较完整的集成电路产业......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
集成电路材料是发展集成电路产业的基础。当前,全球集成电路材料市场呈现出高度集中化的发展态势。其中,日本和欧美等发达国家和地......
1光掩模玻璃基板的定义及种类1.1光学掩模板的定义及分类1.1.1光学掩模板的定义光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜......
光掩膜作为光转印模具,大量应用于柔性电路版、平板显示、触摸屏、大规模集成电路等行业,是现代电子工业生产中不可或缺的基础设备......
<正>在光掩膜领域,我们清楚地看到显示器市场和半导体市场的快速增长。与此同时电子封装市场也在不断地激励着技术革新。显示器市......
本论文基于对SU-8工艺参数的优化、光掩膜的设计与制作,以及新型封盖技术,制备了一种简单、快速、低成本的聚合物基(如SU-8、环氧......
本文从理论和实验两个方面研究了玻璃基光刻铬掩膜板的膜系设计以及其在真空环境中的制备。以光学薄膜设计中的隐含规律为基础,采......
本文详述了用臭氧水和深紫外曝光取代硫酸这一全新的光掩膜清洗技术导入到实际生产的过程。并且基于批量生产进行了工艺的优化、设......
集成电路产业一直向着集成度越来越高,关键尺寸越来越小的方向发展。将光刻部分的线宽做到更小的关键就是分辨率R值的降低,这会导......
近日，国内首条G11光掩膜版项目——路维光电高世代光掩膜生产基地项目在成都高新区启动。该项目总投资10亿元，由深圳路维光电参与设......
在不久前召开的 SPIE Microlithography(国际光学工程学会微光刻技术年度会议)上,BACUS(国际光掩膜技术学会)组织了一次圆桌会议,......
为了增加 IC、LSI、VLSI 的生产,其中一条途径是在用硅单晶板大量生产硅元件时,使用玻璃的平滑平板。用计算机设计的非常复杂的线......
