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不断按比例缩小器件的特征尺寸是改善超大规模集成电路（VLSI）和甚大规模集成电路（ULSI）器件的传统方法，然而随着器件尺寸不断逼近物理和......

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应变Si材料具有较高的载流子迁移率，且与传统的Si工艺兼容已成为国内外的研究热点，同时也是由于应变Si禁带宽度的减小和载流子迁移率......