压电陶瓷致动器相关论文
量子相位剪切干涉仪是基于物质波干涉的高精密测量仪器,在重力测量、资源勘探、地震观测、惯性导航等方面有十分重要的应用,拉曼激......
随着超精密加工等高新技术工业领域的进一步发展,其对有关设备的运行和定位精度提出了更高的要求,因此对微定位器的研究得到了越来......
超磁致伸缩材料(Giant Magnetostrictive Material，简称GMM)是指具有磁致伸缩效应的磁(电)-机械能转换材料，GMM的饱和磁致伸缩系数λ......
为了减小压电陶瓷致动器迟滞非线性固有特征对微定位系统的影响,文章通过实验测试得到了压电驱动器在不同条件下具有的迟滞曲线,并......
为减小二维工作台在运动过程中俯仰角、偏摆角对其定位、测量及加工精度的影响,提出一种实时补偿二维工作台角度误差的方法。将激......
根据压电陶瓷微定位系统的要求,在构成闭环控制系统时,需要控制器应用VC++编程语言编写的控制程序通过PC机的串口,给单片机发送控......
随着纳米光刻、MEMS制造、生物工程等领域的发展,对工作台的定位精度要求也越来越高。在测量系统中,工作台的角度运动误差会影响其......
压电陶瓷(PZT)致动器在飞行器的主动振动与噪声控制等航空、航天领域中得到了广泛应用,其电特性和功率损耗的确定对于优化系统结构......
针对压电陶瓷的微位移检测,引入了基于多次反射的光路放大装置,有效提高了迈克尔逊干涉测量的分辨率。理论上分析了放大倍数、入射......
为了减少相移干涉仪中压电陶瓷致动器进行相移时,其迟滞非线性对相移算法中的相位计算带来的误差,设计了一套压电陶瓷致动器的控制......
分析了由于反射镜倾斜导致的可调谐F-P（Fabry-Perot）滤波器失谐。设计了一种柔性铰链式微位移机构，由压电陶瓷驱动，采用平行四连杆机构......
近年来,基于压电陶瓷驱动的微小型液压泵逐渐开始受到广泛的关注和研究.由于体积重量小、结构简单、能耗低、无电磁干扰等优点,压......
根据压电陶瓷致动器对其驱动电源的要求,利用高压运放设计研制了一种新型的驱动电源,通过对压电驱动器的实验研究表明,其具有精度......
微细电火花加工技术是电火花加工领域的一个重要分支,由于它具有非接触式加工、放电能量精确可控、加工精度高等优点,使得微细电火......
研究一种基于开关式原理的压电陶瓷致动器动态驱动电源.方案采用7组三端可调稳压器LM317串联叠加输出稳定电压给压电致动器供电,输......
本文以国家自然科学基金重大研究计划——纳米制造的基础研究：“基于空气静压主轴非线性动力学行为分析的纳米切削加工表面微波纹形......
为了解决电压控制型压电陶瓷驱动器驱动压电陶瓷时存在的迟滞、蠕变和带宽窄的问题,设计了基于电流控制的压电陶瓷驱动器,利用压电......
随着科学技术向着微观领域的深入发展,微纳操作技术在科学研究、工业生产等领域的作用日益突出。精密抓取技术是微纳操作的关键技......
压电陶瓷致动器在电场驱动下会产生迟滞和蠕变现象，降低了定位精度。根据压电陶瓷致动器的位移与电荷量之间具有线性关系，研制了基于......
压电陶瓷致动器（ＰＺＴ）具有响应速度快，位移行程小，位移与电压成正比，容易控制，重量轻，体积小，维护容易，发热、电磁噪声低，能量转换效率高等优点，已......
