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引言 在以硅单晶为基础材料的半导体器件制造过程中,每当用HF去除硅表面SiO_2。层或用HF-HNO_3溶液对硅片进行化学清洗时,硅表面......
上海骏图电子科技有限公司是一家专业从事半导体后道设备及物料管理系统的研发制造、升级与维修的综合性企业,总部位于上海,自主研......
