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提出了一种应用于射频领域的复合多晶硅栅LDMOS结构，并提出了具体的工艺实现方法。此结构采用栅工程的概念，设计的栅由S-gate和Dgate......
随着功率半导体技术和系统集成技术的不断发展，功率器件的研究也越来越受到关注。MOS栅功率器件的产生，引发了功率集成电路的概念，即......
