微热板相关论文
阐述PWM方式进行控温的集成电路设计，根据微热板的热学特性建立相应的电学模型，利用功耗与电流之间的关系得出最小测试电流，对加热控......
金属氧化物半导体气敏传感器是气体传感器领域研究的热点内容,而微热板作为金属氧化物半导体气体传感器的重要组成部分之一,对微热......
基于CO2红外气体传感器微型化、智能化、低功耗的发展要求,创新性地提出一种中心温度为407℃的CO2检测用微电子机械系统(MEMS)红外......
将微热板与平行板静电执行器结合,设计出一种能够保持温度恒定的同时,调节气敏薄膜(SnO2)应力的系统结构.采用有限元软件(COMSOL M......
微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。安的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能。该文针对研制中的......
随着近代高新技术的发展，要求各种探测器微型化。微加工技术的进步，使得微器件制造有了可能，于是微传感器就应运而生了。微热板作为一......
皮拉尼传感器广泛用于105Pa～10-1Pa的粗真空测量。本文在基于MEMS工艺的皮拉尼传感器的基础上研制了一款与标准CMOS工艺兼容的皮拉......
针对加热测温一体化集成微热板阵列气体传感器的需要,以微热板加热性能测试参数为依据,提出了一种基于微热板气体传感器阵列的单片......
设计了一种新型微气体传感器的电极结构,这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。利用铂作为电极材料,SiO2......
在微热板（MHP）的应用过程中,其本身的热特性是影响器件性能的重要因素之一,同时加热电极和衬底之间的气体间隙传热是影响MHP热特性的......
微热板是微结构气敏元件的重要组成部分,采用Si作为基底,通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层,在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANS......
喷墨打印技术具有无需掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点。利用喷墨打印技术在微热板上打印SnO_2多孔薄膜。根据打印机的定位......
新型固态氢气传感器将新颖的氢化金属薄膜与带微热板的微机电(MEMS)系统结构相结合。微热板结构通过硅表面微加工制作,产生带有嵌......
针对常压和真空两种环境．通过三维有限元模拟分析了背面体硅加工型、正面体硅加工型和表面加工型三种微热板(MHP)的传热主渠道和加......
基于集成微热板气体传感器阵列的应用需求,采用CSMC的0.5μm标准CMOS工艺设计了片上加热驱动电路,可根据外部控制信号实现阵列中各......
对微热板温度、应力的分布以及功耗等情况的了解有利于微热板的优化设计，从而设计出性能符合要求的表面离化微热板．为此，用有限元方法......
微细尺度的对流换热与常规尺度的有很大不同,采用比较法研究了微细尺度水平氮化硅表面空气自然对流换热的问题。利用标准CMOS工艺......
将微热板与静电梳齿执行器结合,设计出一种恒温加热状态下调节气敏薄膜（SnO_2）应力的系统结构。采用有限元软件（COMSOL Multiphysics）......
针对传统半导体气体传感器功耗大,网络节点难以实现自供电的问题,设计了一种新型太阳能供电的阵列式气体传感器网络节点。采用课题......
设计了一种新型气体传感器的微热板结构,利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层和绝缘层。通过有限元分析工具分析了基底中各材料厚度......
为了解决微小芯片表面测温的难题,设计了一种非接触式微区测温系统。首先利用光纤探头和光功率计测量微热板的辐射功率,再结合辐射......
研制了一种采用CMOS工艺和表面牺牲层技术加工的微热板式低气压传感器，该微热板为四臂支撑悬空矩形板，其边长为75μm，支撑桥长为60μm......
微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点,是集成气体传感器等微传感器的核心部件.通过实验测定,介绍气压和流速对微热板气体......
利用金属铂的热阻、热敏特性以及SiO2、SiNx良好的绝热绝缘特性,设计一种以金属铂薄层为加热器,叉指状金薄层为信号电极,SiO2和SiN......
设计了一种基于微机电系统（MEMS）工艺的以氧化钨（WO3）为敏感材料的微结构气体传感器，并从半导体理论解释了WO3对二氧化氮（NO2）的敏感机理......
当今社会,伴随着随着互联网通信技术的发展,物联网时代即将来临,人民的生活向着数字化、信息化发展,而传感器是实现信息数字化的重......
设计了一种工作在恒电压模式的、微热板结构的单片集成电阻真空传感器芯片.提出了一种以CMOS集成电路中的介质层与钝化层为结构层......
随着近代高新技术的发展，要求各种探测器微型化。微加工技术的进步，使得微器件制造有了可能，于是微传感器就应运而生了。微热板作为一......
本文基于集成微热板气体传感器的恒温加热需求,在对微热板进行测试分析的基础上,采用SIMC的0.18微米标准CMOS工艺设计了具有自启动......
采用静电流体动力学(EHD)喷墨打印技术在微热板上沉积了气敏材料。将纳米气敏材料分散到溶剂中制备出墨水,研究了墨水材料、打印距......
Kebaili公司推出了业界第一个用于研制新型化学传感器的KMHP-100MEMS微热板。这种创新型传感器是采用MEMS和纳米技术，基于溶胶-凝胶......
本文提出和设计了一种硅基共平面型微结构气体传感器,它具有与硅平面工艺和传统厚膜工艺均能实现兼容的特点,采用理论模拟和实验相......
近场热辐射是当前国内外的一个研究热点。研究微纳器件中的近场热辐射对提高器件的绝热性能和开发新型器件都有重要的意义。本文开......
科技的发展和工业化的进步，使得便携式智能设备普及开来。同时，不断有更多特殊功能MEMS器件被集成到智能设备上来满足人们各种各样的......
气体传感器广泛应用于农业、居家生活及空气质量监测等各领域。随着微电子技术的发展，气敏元件的小型化和集成化成为传感器的发展方......
给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理.分析了微热板各层薄膜厚度、微热板下气隙高度、支撑桥尺寸......
研究了微热板的传热特性，从理论上分析了恒温模式下工作温度和结构尺寸对微热板电阻真空传感器工作特性的影响。设计了一种边长为93......
在传统“三明治”夹层结构的基础上，微热板将加热丝埋入到基底绝缘层中，通过周围绝缘层介质对加热丝的约束作用，减小了Pt加热丝与基底......
设计了一种微气体传感器微热板的电极结构,利用有限元分析工具ANSYS对该微热板的温度场和磁场分布进行了分析和优化,研究了微热板......
基于铂的热敏热阻特性和SiO2的绝热绝缘特性,设计了一种以铂作为电极材料,SiO2作为隔热层和绝缘层材料的微气体传感器的硅基微热板......
热传导真空传感器广泛用于各种真空设备中，采用微机械加工技术微型化后可用于微电子封装泄漏检测、集成真空计、便携式气压测试仪等......
随着微电子和微机械加工技术的发展,研制尺寸小、重量轻、功耗低、响应快且易与IC(Integrated Circuit)集成的微热板式气压传感器......
