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微加工技术正被人们用来加工满足光通信系统要求的各类器件.在采用自由空间光学原理的器件中,针对交换、滤波和可调式衰减等应用的......
研究了一种弯曲悬臂梁静电执行器。该悬臂梁一端固支 ,另一端自由翘离基底。在静电力作用下 ,悬臂梁粘连的位置和长度会改变 ,使得......
将微热板与静电梳齿执行器结合,设计出一种恒温加热状态下调节气敏薄膜（SnO_2）应力的系统结构。采用有限元软件（COMSOL Multiphysics）......
