微硅加速度计相关论文
探讨了MEMS梳齿电容式加速度计的加工工艺条件和版图设计规则,根据实际加工的样片,归纳了由于不合理的工艺和版图细节而产生的包括......
本文针对分立元件电路噪声与干扰大的特点,设计了电容式微硅加速度计的闭环检测系统,讨论了该闭环检测系统的数学模型,对该闭环检......
该文从理论上推导出力平衡式微硅加速计在闭环工作情况下，测量加速度计的传感器梯度（刻度因数）和挠性支承刚度的公式，并且在FACRI研制......
微型加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势.3140型压......
微型加速度计作为一种新型惯性传感器，它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速计无可比拟的优势，３１４０型压阻式微硅......
提出了一种用以扩展加速度传感器使用频率范围的动脉特性补偿方法，其基本原理是根据加速度传感器的输入输出传递函数，构造出一个基于......
本文首先介绍了一种MEMS电容式微硅加速度计的结构和等效电路,阐述了开关电容放大器的工作原理和输出电压与电容的关系,重点讨论了......
微硅加速度计是近年来发展起来的新型器件，在结构设计阶段必须对其进行力学分析，以期对使用条件下的摆片位移、应力等作到心中有数。......
在微硅加速度计的研制中,静电键合具有传统胶接技术所无法比拟的优点,是目前该加速度计研制中广泛应用的粘接技术。叙述了静电键合......
文章介绍了一种“轿式”结构高精度微硅加速度计的总体结构。从振动机理出发,重点分析该加速度计的振动模态与结构参数的关系,得出......
