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双重离子注入Ge形成PN结的工艺方法研究
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双位组合四探针法测量硅片电阻率
本文研究用双位组合四探针测量硅材料薄片电阻率的新技术,提出新的计算公式和厚度修正原理。用双位组合法测量不同厚度硅样品所得结......
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双位组合四探针法
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