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最小步距相关论文

圆光栅回转式压电微角度执行器的研究

微位移驱动技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,随着科学技术的发展,需要高精度、高分辨力......

学位

微角度微驱动回转式执行器圆光栅压电尺蠖运动

大行程纳米级压电微动工作台的设计与试验研究

介绍了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级级平台式步距压电微动台。在结构设计方面,夹紧器和驱动器都采用压电陶瓷对称结构,配合......

期刊

纳米定位尺蠖运动压电陶瓷最小步距大范围

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