本征应力相关论文
微桥是微测辐射热计阵列像元的重要部分，经微细加工工艺制成的微桥结构常常发生弯曲变形，从而严重影响器件性能。利用有限元分析方法......
用Nb-752薄长条做衬底材料,按C_2H_2/N_2分别为3/2和2/3两种气体流量比获得Ti(CN)_(3/2)和Ti(CN)_(2/3)两种涂层,由单面镀膜样品弯......
采用电子枪蒸镀法制备了不同沉积温度下的HfO2薄膜样品,利用ZYGO干涉仪、UV3101-PC分光光度计、X射线衍射（XRD）仪和冷场发射扫描电镜......
运用ANSYS软件建立了有限元模型,对直流等离子体喷射制备的自支撑金刚石厚膜在脱离基体前、后的残余应力分别进行了数值模拟。为了......
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在物理气相沉积铜膜的过程中,具有高表面迁移率的铜原子在基底表面以Volmer-Weber方式生长,铜膜通常会产生显著的本征应力(压应力......
为了研究化学镀膜过程中本征应力的演变过程,建立了基于光纤光栅传感的本征应力计算模型,提出了一种监测化学镀膜过程本征应力演变......
本文研究了硅衬底上Hg敏化光CVD-SiO2薄膜的附着力和应力.结果表明,Hg敏化光CVD-SiO2薄膜与硅衬底附着良好,附着力大于6.3×108dyn......
利用等离子体增强化学气相沉积技术在硅基底上沉积了氢化非晶硅(α-Si:H)薄膜,通过纳米压入仪、电子薄膜应力分布仪、傅里叶变换红......
期刊
分析了溅射积附时金属镀层内应力的起因、本质及表现形式，讨论了镀层应力，本征应力和热应力的影响因素，并对镀层粘合力进行了研究。......
在细观层次上将轻骨料混凝土看成是砂浆基体、骨料夹杂和界面层组成的三相复合材料,在此基础上,运用细观力学均质化理论,对混凝土......
二氧化铪(HfO2)是一种优质的高抗损伤阈值薄膜材料,是制作高功率激光系统的薄膜器件的首选高折射率薄膜材料。HfO2具有附着力好、......
骨料夹杂形状所带来的对混凝土宏观性质的影响通过Eshelby＇s方法来计算，基于等效夹杂理论，骨料夹杂对水泥沙浆所引起的干扰应力用本征......
本文研究了硅衬底上Hg敏化光CVD-SiO2薄膜的附着力和应力.结果表明,Hg敏化光CVD-SiO2薄膜与硅衬底附着良好,附着力大于6.3×108dyn......
