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报道用远紫外准分子激光进行亚微米光刻的实验结果。以波长为248.3nm的KrF准分子激光为光源,以光管均匀器为主构成照明系统,采用带有平行平板为......
正是在无产阶级文化大革命向纵深发展的时刻,在毛主席“抓革命,促生产”的伟大号召下,我组开始进行红外雷达的研制工作。有关红外......
针对传统方法抛光高功率激光实验中使用的长焦距列阵透镜单元遇到的检测困难、一致性差等问题,提出了采用环形抛光的新方法。对环......
高功率固体激光装置的波前校正通常采用自适应光学或衍射光学的方法,但这些方法的应用都有一定的困难.小磨头数控抛光加工技术已逐......
<正> 环形浮动抛光法(或称连续抛光)是加工高精度光学平面的一种好方法。它是在古典式抛光法改进成摆架式分离器和蟹钳式分离器基......
根据空间红外相机的研究进展和技术现状,总结得出了红外相机的发展趋势是高分辨率、高灵敏度和大视场。针对大视场光学技术的研究主......
在激光惯性约束聚变(Inertial Confinement fusion,ICF)装置中,静态波前畸变是引起光束质量下降的重要因素。利用微光学工艺技术在基......