将氮和氧离子在不同能量下次次注入于硅圆片并高湿退火,形成具有Si-N-O/Si/SiO夹心埋层的SOI结构.对该样品做了截面透射电镜(XTEM)......

采用氮氧共注入方法制备了新型的 SIMON(separation by implanted oxygen and nitrogen) SOI材料 .采用不同的制备方法分别制作出......

采用氮氧共注入方法制备了新型的SIMON(separation by implanted oxygen and nitrogen)SOI材料．采用不同的制备方法分别制作出样品......