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摘 要： 经过半个世纪的发展，九州已经成为世界著名的半导体产业集聚地，在全球半导体产业链上游保持着强大的技术实力和领先优势。当前......
SOI晶圆材料正在成为制备IC芯片的重要原材料。本论文第一部分从SOI晶圆的微结构入手，分析了工艺条件对微结构的影响。实验中利用TE......
半导体产业一直是西方经济转换升级的心脏,它强有力地推动了诸如英特尔、太阳微系统公司、得克萨斯仪器设备公司、国际商用机器公......
SAPO-34分子筛的硅磷酸铝组成与菱沸石笼结构孔道促进了甲醇高效转化为乙烯、丙烯（MTO）的反应,以其为催化剂的工业过程不断取得进步.......
微谐振式压力传感器尺寸小、重量轻、精度高并具有数字输出,在航空航天等领域有着广阔的应用前景。然而由于微机械加工工艺的限制,......
针对微加热板气体传感器敏感薄膜上温度分布不均的缺点,在传统的微加热板传感器中加入了硅岛结构以均匀薄膜温度分布。利用有限元......
SOI晶圆材料正在成为制备IC芯片的主要原材料。SOI材料的质量很大程度上取决于顶层硅及埋层的结构。利用TEM,系统地研究了3种实验......
根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜......
