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氮硅单晶相关论文
微氮直拉硅单晶中氧化诱生层错
本文研究了微氮直拉硅单晶中的氧化诱生层错,指出,氮能促进硅中氧的沉淀.与非含氮硅单晶相比,含氮硅单晶中引起的OSF密度较小,这可......
会议
直拉硅单晶
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氧沉淀
硅中氧
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晶相
微氮硅单晶中的热受主
本文研究了微氮硅单晶在经历不同温度热处理时电阻率的变化,发现在700℃以上退火时,n型微氮硅单晶的电阻率首先上升,随后逐渐下降,......
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