混合磨料相关论文
为了在浅沟槽隔离（STI）化学机械平坦化（CMP）过程中提高对SiO2介质层去除速率的同时保持晶圆表面一致性，研究了SiO2/CeO2混合磨料的协同......
单晶蓝宝石因其具有优异的物理和化学性能,在国防武器装备和民生领域具有广泛的应用前景。高性能装备对单晶蓝宝石表面质量要求十......
文章介绍了目前很多铸造企业在抛丸清理这一环节存在的问题及影响抛丸清理的主要因素，分析了磨料的质量对这些问题的影响。针对......
前混合磨料射流清洗技术是上世纪80年代兴起的一项技术。其工作过程如下:首先磨料和水通过磨料罐提前混合,形成的磨料浆体在一定长......
钢管的表面处理是控制防腐层质量的关键环节,通常都是在工厂生产线上进行的,抛射除锈因其除锈效率高、磨料利用率高、更适合大规模......
分析磨料水射流切割技术的基本原理和切割机理;可寻求影响高压水射流切割技术的相关规律。......
本文报道了工程试验法在棕刚玉-黑碳化硅混合磨料树脂切割砂轮研究中的应用.实验表明:工程试验法能够以最少的试验次数优选出最佳......
分析了混合磨料在蓝宝石衬底化学机械抛光（CMP）过程中的作用机理，并对比了SiO2水溶胶磨料和SiO2与Al2O3混合磨料对蓝宝石衬底去除速率......
为了提高激光陀螺光学腔体内壁的光整度,采用混合磨料法对石英玻璃管内表面进行粗磨光整试验,研究了径向辅助磁极与球形辅助磁极链......
本文介绍一种新型的混合磨料树脂结合剂切割砂轮的制造技术，对混合磨料树脂结合剂切割砂轮的切割机理进行了探讨，对影响树脂切割砂轮......
二氧化硅具有优异的抛光性能,是最重要的抛光磨料之一。然而随着新材料、新结构的出现,CMP磨料的需求出现多样化趋势,通过对纳米颗......
在化学机械抛光(CMP)系统中,磨料是决定去除速率和表面状态的重要因素。在单一磨料下进行了单因素实验,在不同的压力、转速、流量......
期刊
本文介绍一种新型的混合磨料树脂结合剂切割砂轮的制造技术,对其切割机理进行了探讨,系统阐述了影响树脂切割砂轮的切割效率、耐用......
应用磁力研磨法,利用外部磁场控制陶瓷管内部的磁粒刷运动,从而实现对整个陶瓷管内表面的超精密抛光.通过理论分析和试验结果相结......
