电压衬度相关论文
本文简述了扫描电镜电压衬度的成像原理及其在集成电路分析中的应用,列举了几组在实际工作中应用扫描电镜得到的集成电路缺陷照片......
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电压衬度（Voltage Contrast，VC）是CMOS集成电路失效分析的一种有效方法。电压衬度主要利用二次电子的发射效率与样品表面电势相关的原......
本文简要介绍了扫描电镜电压衬度像和束感生电流像技术的原理，发展，友及在半导体器件失效分析中的一些应用研究和典型案例。......
针对28nm技术节点产品上多晶硅微小桥连缺陷,应用电压衬度与光学检测系统,探索了缺陷检测方法的开发流程,建立了缺陷监控指标,并据......
