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真空机械手是集束型设备中晶圆在各反应工艺腔室之间传输的核心部件,负责在各制程模块、卡闸模块和前端模块之间传输晶圆。进口一......
封闭式和开放框架式直接驱动旋转电机,在多种应用中已经取代了传统的、带机械传动的伺服电机系统。而如今一类全新的、称为模块化(c......
本文针对精密Ⅰ号装配机器人在初始定位上存在的问题,设计建造了新的计算机控制系统,根据机器人的本体结构设计了在伺服级搜索绝对位......
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惯导测试转台作为航空航天领域中进行模拟、仿真的关键设备,它的优劣直接关系到仿真试验的可靠性和可信度,是保证航空航天产品和武......