硅加速度计相关论文
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介绍了力平衡式硅加速度计的设计，勾画了MEMS产品的一般设计思路和方法.微结构与电子线路这两个相互依存的设计部分的有效结合保证......
文中着重于在小动态范围情况下炮射导弹抗高过载的测试问题.详细介绍了3255型硅加速度计的构成和工作原理及其简要的结构特点;尤其......
固有频率对硅加速度计的性能影响很大。针对目前硅加速度计的固有频率计算公式误差大的缺点，利用力学原理推导了悬臂梁式和双端梁式......
简要介绍了利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的非整体膜结构的敏感硅芯片,较详细地报告了用此硅芯片封装成的加速度敏感元件,最后介绍......
