硅加速度计相关论文
本文主要论述了一种新型的双梁摆式微型硅加速度计的工作原理,并对研制这种加速度计的关键工艺进行了探讨研究,同时对研制出的加速......
介绍由激振控制系统、数字存储示波器和计算机等组成的硅加速计幅频特性全自动采集处理的硬件系统和软件技术,并利用这套系统对TJA......
介绍了力平衡式硅加速度计的设计,勾画了MEMS产品的一般设计思路和方法.微结构与电子线路这两个相互依存的设计部分的有效结合保证......
文中着重于在小动态范围情况下炮射导弹抗高过载的测试问题.详细介绍了3255型硅加速度计的构成和工作原理及其简要的结构特点;尤其......
硅加速度计设计的折衷方案美国EG&GICSENSORS公司加速度计系统的设计者们面临的是一系列彼此竞争的技术。从中做出正确的选择往往需要对价格和性......
固有频率对硅加速度计的性能影响很大。针对目前硅加速度计的固有频率计算公式误差大的缺点,利用力学原理推导了悬臂梁式和双端梁式......
介绍了振动台测量控制系统、标定振动g值及减小标定误差的技术。在此基础上,介绍了利用HP34401A型数字万用表和微型计算机进行数据......
提供了一种肛用硅微加速度计和ASIC构成的自适应采集和存储测试和加速度信号波形的集在微型测试仪。该测试仪在128种采样频率随波被测信号......
简要介绍了利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的非整体膜结构的敏感硅芯片,较详细地报告了用此硅芯片封装成的加速度敏感元件,最后介绍......
介绍由激振控制系统、数字存储示波器和计算机等组成的硅加速计幅频行性全自动采集处理的硬件系统和软件技术,并利用这套系统对TJA......